通常情況下，我們可以理解氣相色譜儀為精密儀器，在眾多的實(shí)驗(yàn)中細(xì)致操作很重要，這里主要說明——利用氣相色譜儀測定SiHSl3含量的原理和主要步驟，因此就先看其工作原理：

　　選用高純氫氣做載氣，待測樣品進(jìn)入汽化室后被瞬間汽化，在載氣推動下，經(jīng)過色譜分離柱，由于不同化合物的性質(zhì)存在差異，它們在固定相的分配系數(shù)不同，流出色譜分離柱的速度有快有慢，因而被測的混合物組分被色譜柱分離成單一組份，并依次被載氣帶入熱導(dǎo)檢測器（TCD）進(jìn)行檢測，經(jīng)色譜工作站處理、計(jì)算機(jī)自動積分從而達(dá)到測定的目的。

　　然后是利用氣相色譜儀測定SiHSl3含量的分析步驟，在這個環(huán)節(jié)中需要明白一個概念就是——SiHSl3含量的重要性，

　　1.打開氫氣閥門，將載氣流量調(diào)到40ml/min，待氣流量穩(wěn)定后。

　　2.打開設(shè)備電源開關(guān)。

　　3.待設(shè)備穩(wěn)定后，進(jìn)入“定溫設(shè)置”界面，設(shè)定“柱箱”溫度70℃，“汽化室”溫度100℃，“檢測器”溫度90℃。

　　4.在恒溫控制0.5h左右，進(jìn)入“熱導(dǎo)”界面，開啟熱導(dǎo)工作開關(guān)。

　　5.取少量SiHCl3樣品在預(yù)先準(zhǔn)備好的小石英安瓿瓶內(nèi)，用1ml注射器抽取SiHCl3液體樣品約0.02ml，迅速注入進(jìn)樣口，樣品在載氣推動下送入色譜柱進(jìn)行分離，通過氣相色譜儀檢測器檢定和色譜工作站處理，獲得HCl、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4各組分色譜圖并保存譜圖。

　　如此的結(jié)構(gòu)、如此的實(shí)驗(yàn)、如此的步驟，總是在zui平常的工作中揭示zui神秘的原理性能，使用這樣的精密儀器還要注意保養(yǎng)！